进口高真空微调阀

美国YLOK依洛克进口高真空微调阀(又称真空针阀)是靠螺杆传动来调节锥形针和孔的缝隙长度，改变阀座流导值。是用来向真空系统中充气并可准确调节进气流量，以控制和调节系统内的真空度。适用的工作介质为不含颗粒灰尘的空气及非腐蚀性气体。高真空微调进气阀能准确的控制每单位时间内气体的流量泄露到真空腔室。此阀的截流孔变化是通过微调螺纹机械带动阀针的上下位移来达到，从而精密的控制了阀门的气体泄露量。本阀的动密封采用不锈钢波纹管密封（1.4除外），保证了阀门动密封的可靠性。为了防止粉尘的进入，在阀的气流入口，装有过滤气片，这样大大提高了阀门的使用时间。本阀针的上下位移均有限位装置，保证了阀针，阀座及波纹管的时间。阀们的适用介质为空气及非腐蚀性气体。为了让用户使用方便，本系列微调阀可带有或不带有截止阀，从而更进一步提高了针阀的使用及便于用户操作

进口高真空微调阀产品特点

标准化、模块化设计，易于更换及维修；

便于清洁的设计；

电磁阀采用节能设计，体积小。

进口高真空微调阀性能指标

可变漏率范围：1000～１×10-5CM·S-1、此阀可满足设备所需的全量程的泄漏调节；

对漏率的可变范围进行无级控制、漏率：<1.0×10-7Pa·L·S-1、良好的阀位重复性；

烘烤温度:120℃、工作温度：80℃、微米比例尺，可对特定气体的流量的零位设置进行重复调节。

进口高真空微调阀技术参数

公称通径(DN)：0.8、ΦD：22

小可调量(Pa.L/S)：1.3x10-2

大可调量(Pa.L/S):4000

适用范围(Pa)：105～1.3x10-2

漏气率(Pa.L/S)：＜1.3x10-6

介质温度(℃)：-25～+80

主要件材料：阀体:1Cr18Ni9Ti

针:2Cr13

阀座:无氧铜不锈钢

进口高真空微调阀主要性能指标

适用范围(Pa)105～1.3x10-5Pa

阀门漏率(Pa.L/S)≤1.3x10-5Pa

开闭时间(S)DN≤6320；80≤DN≤20030；DN≥25048

介质温度（℃）-25～+80(密封材料为丁橡胶)

-30～+150(密封材料为氟橡胶)

法兰标准JB919

安装位置：阀板密封面上端口接泵入气口

安装位置：阀板密封面上端口接泵入气口